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钛泵的抽速、阳极电压和磁场强度

  钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关,磁场强时抽速也大,对应最好抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升/秒、5升/秒。对于需求大抽速的场合,可用基本结构单元并联的方式使抽速到达50升/秒、100升/秒等。

  发动压强:10-2帕

  寿数:

  a、阴极耗尽寿数

  阴极钛板因溅射穿通而使泵无法运用。

  b、阳极脱落寿数

  阳极内沉积钛膜的厚度太大时会发生脱落,致使泵内压强的不规则强烈改变,使泵无法运用。

  c、阳极吸饱寿数

  阳极上吸赞同溶解了很多的氦气、氢气,当到达饱和状态时泵不能再吸附气体。

  在正常运用情况下,溅射离子泵的寿数可达几万小时。

  钛泵电源

  钛泵的电源是高内阻电源,其空载输出电压在3~7KV间,但负载电流大时,输出电压降至400V左右。一般溅射离子泵运用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额外电压与磁场强度下的放电电流Iion(mA)与压强P(Torr)有必定的曲线关系。所以经过离子泵电源可反映出压强的巨细。

  泵电源的面板上显示有:输出直流高压和钛泵放电电流等。


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